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규소

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Sico 실리콘 제품은 반도체 폴리, 질화물 및 CVD 공정에 사용하기에 가장 적합한 제품입니다.

High purity semiconductor grade silicon is the raw material for wafers.
Sico machines extremly high pure silicon for silicon process tubes, injectors, pedestals and carrierboats.

 

The materials high temperature capability and the same thermal expansion coefficient as the wafers, helps the customer to reduce particle defects and slips.
Sico can machine silicon and form it into shapes, only known from quartz until now.

롱핑거, 커넥션, 버티컬, 캐리어, 보트, 실리콘, 실리지움

Sico의 특수 연결 기술

실리콘 제품을 위한 유리화 기술

  • 고온 응용 분야(최대 1200°C), 내산성

실리콘 제품의 결정화

  • 고온 응용 분야(최대 1300°C), 내산성

재료 특성

유리화

1200~1300°C

열팽창 계수

열전도도(1000°C)

예상 소유 비용

1200°C에서의 미끄러짐

퓨리트
y
규소

아니요

안정적인

실리콘 웨이퍼와 유사

웨이퍼와 유사

100%

없음

0.35
석영



플라스틱, 워프

-5배 적음

-10배 더 높음

-380%

해당 없음

4.1
SiC

아니요

안정적인

-1.85배 더 많음

-10% 감소

-195%



1.45

시코 실리콘 부품

운송업체, 보트

  • 수직 및 수평 실리콘 캐리어

  • 최대 300mm까지의 모든 웨이퍼 크기

  • 모든 OEM

  • 맞춤 설정

  • LPCVD Poly-Si, SiN과 같은 프로세스에 사용 가능

  • 산화물, 최대 1300°C까지의 어닐링과 같은 다양한 고온 응용 분야

  • 귀하의 프로세스 요구 사항에 맞는 특수 표면 옵션

반지

  • 최대 460mm까지의 모든 종류의 실리콘 포커스 링

  • 모든 OEM

  • 고객 맞춤형 디자인

주사기

실리콘 주입기는 폴리 공정에 사용되며, 최대 1300°C의 고온에서도 소성 변형 없이 높은 기계적 강도를 유지합니다. 입자 파열을 크게 줄이고 필름 응력으로 인한 파손을 방지합니다. 원형, 평면, 이중 또는 맞춤형 등 다양한 디자인이 가능합니다.

  • 모든 OEM

  • 고객 맞춤형 디자인

라이너 & 튜브

Sico 실리콘 라이너 및 튜브는 균일한 경로를 제공합니다.

입구에서 배기까지 가스가 흐르도록 하며, 일괄 처리 장비에 필요합니다.

  • 모든 OEM

  • 고객 맞춤형 디자인

받침대

Sico 실리콘 받침대는 확산 및 열처리 과정에서 캐리어를 지지하고 파티클 발생을 줄이는 데 도움을 줍니다. 다양한 디자인이 제공됩니다.

  • 모든 OEM

  • 고객 맞춤형 디자인

다른

일괄 및 단일 웨이퍼 처리를 위한 다양한 부품.

개인 및 고객 맞춤형 솔루션!

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