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설계
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Glasceramic
SQ-Glasses are synthetic quartz glasses produced from high purity SiCl4, by the flame pyrolysis method. These glasses are free of bubbles and inclusions and are distinguished from other glasses by good transmission in UV and visible spectral range. The types SQ0 – SQ2 are different regarding to homogeneity, layers, inclusions and transmission in the deep UV range.
아이겐샤프텐
유리화
1200~1300°C
열팽창 계수
열전도도(1000°C)
예상 소유 비용(년)
1200°C에서의 미끄러짐
퓨리트 y
규소
아니요
안정적인
실리콘 웨이퍼와 유사
웨이퍼와 유사
100%
없음
0.35
석영
예
플라스틱, 워프
-5배 적음
-10배 더 높음
-380%
해당 없음
4.1
SiC
아니요
안정적인
-1.85배 더 많음
-10% 감소
-195%
예
1.45
SiC
아니요
안정적인
-1.85배 더 많음
-10% 감소
-195%
예
1.45
바
SQ-유리는 고순도 SiCl4를 화염 열분해법으로 제조한 합성 석영 유리입니다. 이 유리는 기포와 내포물이 없으며, 자외선 및 가시광선 영역에서 우수한 투과율을 자랑합니다. SQ0부터 SQ2까지는 균질성, 층, 내포물, 그리고 심자외선 영역에서의 투과율 측면에서 차이가 있습니다.
아이겐샤프텐
유리화
1200~1300°C
열팽창 계수
열전도도(1000°C)
예상 소유 비용(년)
1200°C에서의 미끄러짐
청정
규소
아니요
안정적인
실리콘 웨이퍼와 유사
웨이퍼와 유사
100%
없음
0.35
석영
예
플라스틱, 워프
-5배 적음
-10배 더 높음
-380%
해당 없음
4.1
SiC
아니요
안정적인
-1.85배 더 많음
-10% 감소
-195%
예
1.45
SiC
아니요
안정적인
-1.85배 더 많음
-10% 감소
-195%
예
1.45
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