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硅

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Sico 硅产品是半导体多晶硅、氮化物和 CVD 工艺的首选。

高纯度半导体级硅是晶片的原材料。
Sico 加工极高纯度的硅，用于制造硅工艺管、注射器、基座和载运舟。

该材料的耐高温性能和与晶圆相同的热膨胀系数有助于客户减少颗粒缺陷和滑移。
Sico 可以对硅进行加工并将其制成各种形状，而迄今为止，这种加工方式仅对石英有效。

长指, 连接, 垂直, 载体, 船, 硅, Silizium

Sico 的特殊连接技术

硅制品玻璃化技术

  • 适用于高温应用（高达 1200°C），耐酸

硅产品结晶

  • 适用于高温应用（高达1300°C），耐酸

材料特性

脱玻化

1200至1300摄氏度

热膨胀系数

热导率（1000℃）

预计拥有成本

1200°C 时滑动

纯度
硅

不

稳定的

类似于硅片

类似于晶圆

100%

没有任何

0.35
石英

是的

塑料，弯曲

-5 倍

-高10倍

-380%

不适用

4.1
碳化硅

不

稳定的

-1.85倍

-10% 减少

-195%

是的

1.45

Sico 硅部件

运输船、船

  • 垂直和水平硅载体

  • 所有晶圆尺寸最大可达 300 毫米

  • 全部 OEM

  • 定制

  • 可用于 LPCVD Poly-Si、SiN 等工艺

  • 各种高温应用，如氧化物、退火温度高达 1300°C

  • 特殊表面选项可满足您的工艺要求

戒指

  • 各种型号的硅胶对焦环，最大可达 460mm

  • 全部 OEM

  • 客户特定设计

注射器

硅喷射器用于多晶硅工艺，在高达 1300°C 的温度下仍能保持高机械强度，不会发生塑性变形。它们可显著减少颗粒爆裂，并且不会因薄膜应力而破裂。我们提供各种设计，例如圆形、扁平形、双头形，甚至定制化设计。

  • 全部 OEM

  • 客户特定设计

内衬和管

Sico 硅衬管和硅管提供均匀的路径

用于从入口到排气的气体流动，并且是批量处理设备所需要的。

  • 全部 OEM

  • 客户特定设计

座

Sico 硅基座在扩散和热处理过程中支撑载体，并有助于减少颗粒。提供多种设计。

  • 全部 OEM

  • 客户特定设计

其他

用于批量和单晶圆加工的各种零件。

针对个人和客户的具体解决方案！

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