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石英
SICO は、溶融シリカと溶融石英を使用して、光学および半導体業界で広く必要とされる部品を製造しています。
SICO 製品は、HT、CVD、EPI などの一般的なアプリケーションをすべて提供します。
石英ガラスは二酸化ケイ素から作られる高純度の材料です。石英ガラスは優れた熱特性と光学特性を有し、半導体製造プロセスで広く使用されています。
シコテクノロジーは2種類の石英ガラスを生産している
天然石英ガラス SILUX
SILUX® ガラスは、化学的および物理的に前処理された厳選された天然水晶を炎で融合して製造されます。
合成石英ガラスSQE、SQ 0、SQ 1、SQ 2は主に光学用途に使用されます。
SQガラスは、高純度SiCl4を火炎熱分解法で製造される合 成石英ガラスです。気泡や介在物がなく、紫外線および可視スペクトル領域における優れた透過率によって他のガラスと区別されます。SQ 0～SQ 2の各タイプは、均質性、層構造、介在物、そして深紫外線領域における透過率においてそれぞれ異なります。
シコクォーツパーツ
炉部品
すべてのOEM
キャリア
ライナー＆チューブ
ペデスタル
インジェクター
...その他様々な部品
エッチングパーツ
スリーブ
ベルジャー
...その他様々な部品
Epitaxy Parts
すべてのOEM
チャンバーATM/RP
インターロック付きまたはインターロックなしのサセプターとスパイダー
上部/下部ドーム
上部/下部ライナー
サセプター支持シャフト
...その他様々な部品
その他
ご連絡の上、ご希望をお知らせください。
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ASM カマー
あらゆる種類の部品
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