top of page

シリコン

20240117_145636.jpg
img-20-a-sirohre-640x.jpg
Longfinger_Detail.png
Silicon_Gesamt_wko.jpg

Sico シリコン製品は、半導体ポリ、窒化物、CVD プロセスで使用するための第一選択肢です。

高純度半導体グレードシリコンはウェハーの原料です。
Sico は、シリコン プロセス チューブ、インジェクター、台座、キャリア ボート用の極めて高純度のシリコンを加工します。

材料の高温耐性とウェハと同じ熱膨張係数により、顧客は粒子欠陥やスリップを削減できます。
Sico はシリコンを機械加工し、これまでは石英でしかできなかった形状に成形することができます。

ロングフィンガー、接続、垂直、キャリア、ボート、シリコン、シリジウム

Sicoの特殊接続技術

シリコン製品向けガラス化技術

  • 高温用途(1200℃まで)、耐酸性

シリコン製品の結晶化

  • 高温用途(最大1300℃)、耐酸性

材料特性

失透

1200~1300℃

熱膨張係数

熱伝導率(1000℃)

推定所有コスト

1200℃での滑り

ピュリット
y
シリコン

いいえ

安定した

シリコンウェハーに似ている

ウエハースに似ている

100%

なし

0.35
石英

はい

プラスチック、反り

-5倍少ない

-10倍高い

-380%

該当なし

4.1
SiC

いいえ

安定した

-1.85倍

-10%減

-195%

はい

1.45

Sicoシリコンパーツ

キャリア、ボート

  • 垂直および水平シリコンキャリア

  • 300mmまでのすべてのウェハサイズ

  • すべてのOEM

  • カスタマイズ

  • LPCVDポリシリコン、SiNなどのプロセスに使用可能

  • 酸化物、1300°Cまでのアニールなどのさまざまな高温用途

  • プロセス要件に合わせた特殊な表面オプション

指輪

  • 460mmまでのあらゆる種類のシリコンフォーカスリング

  • すべてのOEM

  • 顧客固有のデザイン

インジェクター

シリコンインジェクターはポリプロセスに使用され、1300℃までの温度でも塑性変形を起こさず、高い機械的強度を維持します。パーティクルバーストを大幅に低減し、膜応力による破損を防ぎます。丸型、平型、デュアル型など、様々な設計に対応可能で、カスタマイズも可能です。

  • すべてのOEM

  • 顧客固有のデザイン

ライナーとチューブ

Sicoシリコンライナーとチューブは均一な経路を提供します

入口から排気までのガスの流れを制御し、バッチ処理装置に必要です。

  • すべてのOEM

  • 顧客固有のデザイン

ペデスタル

Sicoシリコンペデスタルは、拡散および熱処理中のキャリアをサポートし、パーティクルの低減に役立ちます。様々なデザインをご用意しております。

  • すべてのOEM

  • 顧客固有のデザイン

他の

バッチ処理およびシングルウェーハ処理用の各種部品。

個人および顧客固有のソリューション!

bottom of page